儀器剛打開時，氣體管道中可能含有空氣，造成第一次處理的氣體并非純氦氣，從而導致放電出現此問題。為了避免該問題，可在每次使用儀器之前進行預放電操作，即在不放置樣品的情況下放電30s，之后正常使用。先放氣5~10s，將管道中空氣排凈，使處理氣體為純氦氣。